1.本發明屬于膜制備技術領域，涉及一種聚四氟乙烯過濾膜的制備，尤其涉及一種半導體行業用的聚四氟乙烯過濾膜的制備。
背景技術：
2.微孔折疊膜濾芯也叫微孔濾芯/折疊膜濾芯，其以復合型折疊式微膜作為過濾的介質，通過膜表面的微孔篩選，達到一定的微粒過濾作用。微孔膜折疊式濾芯因具有高截留率、高流通量、低壓差和廣泛的化學相容性等特點，在醫藥、食品、飲料、啤酒、化工等行業中廣泛使用，微孔折疊膜濾芯中的濾膜材料主要有聚四氟乙烯ptfe、聚偏氟乙烯pvdf、聚丙烯pp和聚醚砜pes等。其中，聚四氟乙烯ptfe是一種對強酸、強堿、有機溶劑等具有良好耐受性的膜材料，以ptfe為原料制備的微孔膜折疊式濾芯具有孔徑分布均勻、孔隙率高、水通量大、截留率高、良好的化學耐受性和熱穩定性等特點，廣泛應用于各領域。
3.在空氣水過濾領域，申請號為201810488542.6的發明專利申請就公開了一種超濾微孔反滲透ptfe膜的制備方法、濾芯及過濾系統，其先將ptfe樹脂與潤滑劑置于高溫混料機中混合并熟化，得到糊料；其次將糊料經擠出機設備擠出成型得到初料；然后將初料在150-350℃溫度下先經過縱向拉伸制備成基膜，然后在橫向拉伸機上拉伸成寬幅為1-3m的ptfe雙向拉伸微孔膜；再在naoh的堿性催化下采用聚丙烯酸丁脂的乙醇溶液浸潤peft膜，對peft膜表面進行水解改性；再將ptfe微孔復合膜表面噴涂氟樹脂懸浮乳液并烘干；最后燒結定型，制得超濾微孔反滲透ptfe膜。其通過對ptfe樹脂及潤滑劑混合、熟化、擠出、拉伸、改性、復合、燒結，制得超濾微孔反滲透ptfe膜，ptfe膜的平均孔徑最小可達0.9um。
4.在光譜檢測領域，申請號為2015109866589的發明專利申請就公開了一種帶有防水防塵透氣膜的光譜儀氬氣過濾器的濾芯，其芯管的內孔壁面周圈沿左、右長度方向設有內層防水防塵透氣膜，芯管的外徑表面周圈沿左、右長度方向設有外層防水防塵透氣膜，外層防水防塵透氣膜的外表面周圈沿左、右長度方向設有毛線過濾層；內層防水防塵透氣膜和外層防水防塵透氣膜由聚四氟乙烯膨化拉伸擴展而成，拉伸之后的聚四氟乙烯膜的表面每平方寸有90多億個微孔，每個微孔直徑為0.1~0.3微米。
5.微孔折疊膜濾芯除了在醫藥、食品、飲料、啤酒、化工等行業中廣泛使用外，近年來在半導體制造領域也逐漸越來越廣泛應用。電子半導體行業精密過濾
聲明：
“半導體行業用聚四氟乙烯過濾膜的制備方法與流程” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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編輯：中冶有色網
來源：安徽省眾望科希盟科技有限公司
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2025年07月16日 ~ 18日 
