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2025中蒙“一帶一路”礦業領域國際合作論壇
第二屆關鍵金屬選冶與高純制程技術交流會
第六屆中國浮選大會
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第二屆中國微細粒礦物選礦技術大會

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冶金行業
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材料行業
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2025中國礦物加工大會（CMPC）
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第四屆全國難熔金屬及硬質合金技術研討會
第二屆煤基固廢資源綜合利用技術交流會
2025中國（榆林）鈉/鋰電池材料產業科技大會

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最新會議

2025全國煤化工科技創新與產業綠色發展論壇
第二屆有色金屬工業環境保護與減污降碳技術大會
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物理檢測       化學分析       力學檢測       無損檢測       失效分析       環境檢測
最新會議

第七屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流會
2025材料電子顯微表征技術湘江研討會
2024有色金屬分析檢測技術交流會
第一屆礦產品采樣與制樣技術研討會
2023有色金屬分析檢測高質量發展論壇暨儀器儀表、實驗室設備展示會

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?“2023有色金屬分析檢測優秀儀器供應商”表彰活動2023-11-22
?蘇州英飛思科學儀器有限公司 | 邀您參加 “第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會”2023-06-30
?創想儀器 | 邀您參加 “第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會”2023-06-16
?南平建陽精控智能科技有限公司 | 邀您參加 “第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會”2023-06-16
?長沙微譜科技有限公司 | 受邀參加第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會2023-06-16

其他行業
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最新會議

2025鉛鋅產業市場研討會
2025綠色低碳鋼鐵行業關鍵技術交流會
2025第三屆全國金屬增材制造及注射成形技術與應用交流會
第十二屆中國鋁工業科學技術發展大會
2025有色金屬智能工廠大會

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現場混裝炸藥在露天中小型礦山的研究與應用
吸附劑的結構設計與性能調控
有機助磨劑強化低品位菱鎂礦分選行為及機理研究
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濕法冶金和新能源行業氨氮廢水資源化技術及應用
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堿金屬離子二次電池電極材料的結構設計及界面優化
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仿向日葵多級微錐定向液滴調控及防冰應用
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基于催化界面工程的新污染物高效捕集與轉化技術
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選擇性浸出—回收磷酸鐵鋰電池更有前景的方法

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?二氧化碳捕集劑開發及應用研究下載：111

?化學吸收碳捕集和利用技術下載：108
?高熵合金在極端條件和環境下的應用開發下載：104
?廢動力電池安全帶電破碎關鍵技術及裝備下載：102
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> 反應離子蝕刻的蝕刻速度控制方法和系統

反應離子蝕刻的蝕刻速度控制方法和系統

1164 編輯：管理員來源：中冶有色網

2023-03-19 09:01:22

本發明公開了一種反應離子蝕刻(RIE)工藝，目的是確保鎢柱完整及表面潔凈無雜質(如圖1)，利于掃描電子顯微鏡觀察，分析失效原因。根據芯片樣本表面的欲蝕刻材料選擇相應的蝕刻氣體，并在蝕刻氣體中加入惰性氣體；蝕刻過程中主要通過調整樣品的傾斜角度、過程清洗及產生高速撞擊離子的設備的功率、蝕刻氣體和惰性氣體的配比來控制欲蝕刻樣本的表面欲蝕刻材料和非欲蝕刻材料的蝕刻速度比。通過本發明提供的控制方法能夠使反應離子蝕刻保留具有各向異性特點，同時又能獲得高刻蝕選擇比。本發明還提供了一種控制反應離子蝕刻的蝕刻速度的系統。

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聲明：

“反應離子蝕刻的蝕刻速度控制方法和系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。

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報告下載

1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取

下載:139

2 取、制樣安全淺析

下載:131

3 取、制樣現狀及未來規劃/需求

下載:108

4 自動化樣品制備助力準確高效的礦

下載:99

5 樣品變質引起采制樣和結算問題

下載:96

6 淺談質量檢驗管理風險防控的重點

下載:95

7 礦產品人工取樣方案的制定及案例

下載:93

8 用于X熒光分析的樣品前處理及其

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10 非常規礦產品取制樣方法的探討

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