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            > 便于可靠性測試的階梯式通孔鏈結構

            便于可靠性測試的階梯式通孔鏈結構

            1111   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
            2023-03-19 09:00:18
            本實用新型提供了一種便于可靠性測試的階梯式通孔鏈結構,涉及半導體測試結構。所述的通孔鏈結構具有N層金屬,從底層到頂層依次標號為M1,M2,…,MN,除底層M1和頂層MN外的其余金屬層Mn的兩端分別通過通孔Vn-1和Vn連接至金屬層Mn-1和Mn+1,其中,2≤n≤N-1,n為整數;頂層金屬MN的兩端均通過通孔VN-1連接至金屬層MN-1;底層金屬M1的至少一端通過通孔V1連接至金屬層M2。采用本實用新型的通孔鏈結構,不僅能一次檢測多個金屬層間的通孔性能,還能快速識別失效通孔的位置,從而有效提高測試效率。
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