本申請涉及半導體制作過程中存儲器晶圓測試技術領域,具體涉及存儲器晶圓測試方法和測試裝置。方法包括:向目標存儲器晶圓發送具有指針變量的測試指令;依次接收存儲在存儲單元中的數據,并存儲;判斷數據是否有誤,若有誤,確定被測芯片包含失效單元;將包含有失效單元的被測芯片歸類為失效組,其他被測芯片歸類為正常組;根據失效組中的被測芯片,在測試電路模塊中開設具有位圖空間,位圖空間與失效組中的被測芯片一一對應;依次遍歷失效組中被測芯片各存儲單元,若存儲單元為失效單元,在對應位圖空間的對應位元上標注;依次遍歷位圖空間的各個位元,確定被標注的位元;根據被標注的位元,確定失效單元地址。
聲明:
“存儲器晶圓測試方法和測試裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)