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            > 用于確認互連線接觸高阻的測試方法

            用于確認互連線接觸高阻的測試方法

            1157   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
            2023-03-19 09:00:11
            本發明提供了一種用于確認互連線接觸高阻的測試方法,包括以下步驟:S1、在一失效樣品對應的版圖上獲取待分析路徑,所述失效樣品已研磨至當層;S2、在所述失效樣品的目標區域上鍍上一層保護層;S3、在所述失效樣品上形成兩個測試通道,兩個測試通道分別由所述保護層向下延伸至所述待分析路徑的兩個測試端口處;S4、采用兩針法進行納米探針測試,將納米探針伸入所述測試通道并與對應的所述測試端口接觸,以確定失效樣品的互連線接觸高阻位置。通過特殊的樣品處理方法以及納米探針設備的測試特點,能夠直接對失效路徑上進行測量,從而在懷疑有高阻的互連線上尋找失效位置,找出樣品的失效原因,從而推動工藝的改善。
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            “用于確認互連線接觸高阻的測試方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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