本發明提供的一種鐵電晶體單軸壓下壓電系數的測量裝置及方法,包括用于安裝待測樣品的夾具、用于獲取設定電壓下的待測樣品位移量的數據采集單元、用于向待測樣品提供直流電壓的外電場單元,以及分別與數據采集單元和外電場單元連接的控制系統;本系統能夠避免現有方法中涉及的單軸壓力與低頻交變力的疊加的問題,同時,能夠無損失的傳遞位移,保證了測試精度。
聲明:
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