<p id="xhh1v"><del id="xhh1v"></del></p><listing id="xhh1v"></listing>

<var id="xhh1v"></var>
<output id="xhh1v"></output>

        <ins id="xhh1v"><cite id="xhh1v"></cite></ins>
          <output id="xhh1v"><del id="xhh1v"><big id="xhh1v"></big></del></output>

          <dfn id="xhh1v"><form id="xhh1v"><output id="xhh1v"></output></form></dfn>

            合肥金星智控科技股份有限公司
            宣傳

            位置:中冶有色 >

            有色技術頻道 >

            > 無損檢測技術

            > 多孔low k材料孔隙率的測試方法

            多孔low k材料孔隙率的測試方法

            921   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
            2023-03-19 08:58:37
            本發明公開了一種多孔low?k材料孔隙率的測試方法,通過在二片晶圓上以是否通入致孔劑作為區別條件,分別沉積無孔low?k介質層和多孔low?k介質層,并將計算得到的無孔low?k介質層的密度作為采用質量體積法測量孔隙率時的理想狀態下致密無孔low?k介質的真密度,以相對法得到多孔low?k介質層的孔隙率,從而實現對多孔low?k介質層孔隙率的無損測試,消除了現有的質量體積法測量孔隙率時需要破壞樣品、步驟復雜及容易失準的缺陷,因此,本發明的測試方法具有操作簡單易行、成本低的特點,同時保證了測試的準確性。
            登錄解鎖全文
            聲明:
            “多孔low k材料孔隙率的測試方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
            我是此專利(論文)的發明人(作者)
            分享 0
                     
            舉報 0
            收藏 0
            反對 0
            點贊 0
            標簽:
            無損檢測
            全國熱門有色金屬技術推薦
            展開更多 +

             

            中冶有色技術平臺

            最新更新技術

            報名參會
            更多+

            報告下載

            赤泥綜合利用研究報告2025
            推廣

            熱門技術
            更多+

            衡水宏運壓濾機有限公司
            宣傳
            環磨科技控股(集團)有限公司
            宣傳

            發布

            在線客服

            公眾號

            電話

            頂部
            咨詢電話:
            010-88793500-807
            專利人/作者信息登記
            久爱国产精品一区免费视频_无码国模国产在线观看_久久久久精品国产亚洲A_国产综合精品无码

            <p id="xhh1v"><del id="xhh1v"></del></p><listing id="xhh1v"></listing>

            <var id="xhh1v"></var>
            <output id="xhh1v"></output>

                  <ins id="xhh1v"><cite id="xhh1v"></cite></ins>
                    <output id="xhh1v"><del id="xhh1v"><big id="xhh1v"></big></del></output>

                    <dfn id="xhh1v"><form id="xhh1v"><output id="xhh1v"></output></form></dfn>