本發明提供了一種原子氣室內壁氫化銣抗弛豫膜層厚度的測量方法,應用于原子氣室測試評估領域。首先在氦氣氛圍中將內壁鍍有氫化銣抗弛豫膜層的原子氣室進行物理破碎,利用原子力顯微鏡和光譜分析儀進行檢測,通過不同厚度抗弛豫膜層的光譜透射率的測試數據,建立抗弛豫膜層厚度與光譜透射率的映射關系;然后基于上述映射關系,利用光譜分析儀,通過無損檢測方式,測量待測原子氣室的光譜透射率,通過數學模型擬合得到原子氣室內壁抗弛豫膜層的厚度;從而實現對原子氣室內壁抗弛豫膜層厚度的無損檢測。本發明解決目前原子氣室內壁氫化銣抗弛豫膜層難以有效測量的問題。
聲明:
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