本發明公開了一種測量金屬微結構殘余應力三維分布的裝置,包括:X射線發生系統、微衍射與光路導向系統、工作臺系統、檢測系統、計算機和控制系統;所述X射線發生系統產生短波長的X射線,經過微衍射與光路導向系統射到工作臺系統內的待測的金屬微構件樣品上的被檢測點上,經過樣品的衍射再次通過微衍射與光路導向系統進入檢測系統,檢測系統接收進入檢測系統的X射線進行檢測,并將得到的檢測數據送至計算機,計算機對收到的檢測數據分析處理后,得到金屬微構件樣品被測點的殘余應變和殘余應力數據并進行誤差分析和參數修正,當前點測試完成后,計算機發出指令給控制系統,控制系統更換樣品檢測點。本發明能自動、無損、真實地測定X射線穿透范圍內的殘余應變和殘余應力在金屬微結構中的三維分布,高效、無損、操作簡便。
聲明:
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