本發明公開了一種基于針孔式點衍射干涉儀的球面鏡曲率半徑測量裝置及方法。本發明通過在針孔式點衍射干涉儀裝置中,先后于干涉腔中插入兩塊不同厚度的平行平板,來實現兩次定量的離焦。當測試光路中不放置平行平板時,通過移相測量得到波面數據W0,分別放置兩個不同厚度的平行平板在測試光路中,通過移相測量得出兩個不同的波面W1和波面W2,通過W1和W0的離焦系數之差、W2和W0的離焦系數之差和高斯成像公式,推導出球面反射鏡曲率半徑的計算公式。本發明采用非接觸式的測量方法避免了對球面鏡表面的損壞,為大數值孔徑球面鏡曲率半徑的無損傷測量提供了可行的方法,同時適用于大數值孔徑球面鏡的面形檢測。
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