本發明提出了一種基于CT掃描圖像的MEMS結構的三維重構與檢測方法,以解決現有檢測手段檢測環境要求高、不能反應其三維形貌的問題,同時保證了MEMS的無損檢測。本方法首先采用工業CT技術掃描得到MEMS器件的系列圖像,然后進行圖像處理并得到其體數據,根據體數據進行表面模型重建,得到MEMS器件的表面三角網格模型。然后對表面模型進行修復,識別并提取其特征信息將器件模型的不同特征劃分為不同的特征塊,最后對劃分好的特征塊進行擬合,提取特征參數并導出數據接口文件。通過以上技術手段,實現了MEMS結構的三維尺度結構的準確檢測。
聲明:
“基于CT掃描圖像的MEMS結構重構與檢測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)