本發明公開了一種基于光柵激光超聲聲譜的薄膜涂層厚度無損測量方法,強脈沖激光束經過光學掩模板或微陣列透鏡照射到被測涂層表面形成周期分布的微小柵狀激光光斑,在被測區域激發固定波長的超聲表面波,由于超聲表面波在多層介質中的頻散特性,涂層厚度的變化會引起所激發表面波頻率的變化,采用激光超聲檢測單元在激勵位置附近接收所產生的超聲表面波信號,對被接收的信號進行傅里葉變換獲取其中心頻率,最后根據超聲表面波中心頻率與涂層厚度的單調關系實現涂層厚度的無損測量。
聲明:
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