本實用新型公開一種無損傷檢測PSS的裝置,屬于PSS制程檢測領域,包括機架、分別安裝在機架上的樣品盒和暗室、及設置在機架外側的圖像輸出裝置;暗室內設有承載臺、第二驅動裝置、平行光源發生器、與平行光源發生器連接的調焦裝置、及設置在暗室內壁上的光學收集器,樣品盒和暗室間設有第一驅動裝置,第一驅動裝置上設有樣品傳動裝置,第一驅動裝置包括上下驅動機構和水平旋轉驅動機構,上下驅動機構用于將樣品盒內不同高度樣品取出,水平旋轉驅動機構通過驅動樣品傳動裝置將樣品送至暗室內承載臺上。該裝置在不破壞樣本的前提下,方便、準確的獲取樣本信息,具有成本低、反應迅速,能全面監控生產的優點,適用于生產管控。
聲明:
“無損傷檢測PSS的裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)