本發明公開了一種無損檢測復合膜表面功能層厚度的方法,包括如下步驟:將樣品放置于樣品室;將不同能量的正電子分別入射至薄膜發生湮沒并分別搜集湮沒產生的伽馬射線能譜;根據伽馬能譜計算正電子湮沒參數;根據正電子湮沒參數與入射正電子能量的關系,可擬合計算薄膜厚度。本發明運用正電子湮沒手段,根據不同能量的正電子在薄膜不同深度湮沒所得到的參數,可定量分析復合膜表面層的厚度,此方法可不破壞樣品,屬于無損檢測。
聲明:
“無損檢測復合膜表面功能層厚度的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)