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2025全國稀有&貴金屬礦冶技術交流會
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第二屆全國礦山化學品科技創新與應用交流會
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第七屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流會
2025材料電子顯微表征技術湘江研討會
2024有色金屬分析檢測技術交流會
第一屆礦產品采樣與制樣技術研討會
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> 低應力的各向同性有機物填充的裝置及方法

低應力的各向同性有機物填充的裝置及方法

858 編輯：管理員來源：中冶有色網

2023-03-19 08:57:02

本發明涉及一種新的低應力的各向同性有機物填充的裝置及方法，屬于探測器微細加工技術領域。該方法在熱釋電陶瓷網格化后的溝槽內，通過化學氣相沉積的工藝，填充聚對二甲苯（Parylene）。通過控制沉積溫度、腔體壓力、時間等參數，實現了溝槽的各向同性有機物填充。填充的有機物厚度可控，無空洞，應力低，保持了溝槽原有的形狀，膜層厚度均勻，有利于后續的加工。經過本發明方法填充的熱釋電陶瓷，在350℃的后續工藝高溫仍然不開裂，易于推廣應用。

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聲明：

“低應力的各向同性有機物填充的裝置及方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。

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化學分析

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1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取

下載:139

2 取、制樣安全淺析

下載:131

3 取、制樣現狀及未來規劃/需求

下載:108

4 自動化樣品制備助力準確高效的礦

下載:99

5 樣品變質引起采制樣和結算問題

下載:96

6 淺談質量檢驗管理風險防控的重點

下載:95

7 礦產品人工取樣方案的制定及案例

下載:93

8 用于X熒光分析的樣品前處理及其

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9 不均勻樣品給第三方檢測機構和貿

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10 非常規礦產品取制樣方法的探討

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