本發明公開的一種基于超穎表面的光纖濕度傳感器及其制作方法,屬于傳感和測量應用技術領域。本發明公開的光纖傳感器主要由光纖、粘接劑、超穎表面和增敏物質組成。通過粘接劑將光纖端面和超穎表面固定在一起。增敏物質涂覆在超穎表面上。超穎表面由具有長方形橫截面的不同尺寸、不同方位角的納米孔陣列構成。所述光纖傳感器采用具有不同旋轉角度的金屬微納結構產生多個具有不同折射率靈敏度的諧振峰,通過監測諧振峰特征參數的變化能夠實現多個傳感參數的測量。本發明的制作方法有助于降低纖端光纖傳感器的制作成本和制作周期。本發明具有小有效傳感面積、多諧振峰、高魯棒性的優點,應用于工業、農業、醫療和化學生物等領域。
聲明:
“基于超穎表面的光纖濕度傳感器及其制作方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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