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2025中國礦物加工大會（CMPC）
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礦山行業
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2025中蒙“一帶一路”礦業領域國際合作論壇
第二屆關鍵金屬選冶與高純制程技術交流會
第六屆中國浮選大會
第二屆全國礦山化學品科技創新與應用交流會
第二屆中國微細粒礦物選礦技術大會

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?杭州微伽量子科技有限公司邀您參加“富礦精開科技創新研討會”！2024-08-05
?威海彤格科技有限公司邀您參加“第五屆中國浮選大會”~！2024-05-08
?內蒙古地礦集團技術需求、采購需求內容摘要，誠邀參加對接！2023-09-13
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?2023中國礦物加工大會（CMPC）在北京隆重召開！2023-04-27
?“第四屆浮選理論、工藝與裝備技術交流會”報到通知+報告匯總 | 3月24-26日在昆明不見不散~2023-03-14

冶金行業
火法冶金       濕法冶金       電冶金       真空冶金
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第二屆(2025)有色金屬綠色冶金雁棲論壇(EMYO)
第六屆全國火法冶金工藝技術與裝備交流會
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2025綠色低碳冶金技術創新大會
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?中集環?？萍迹◤V東）有限公司邀您參加 “2024先進鋼鐵釩鈦產業鏈融通與綠色低碳發展論壇”~！2024-06-14
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材料行業
功能材料       復合材料       新能源材料       合金材料       材料加工
最新會議

2025中國礦物加工大會（CMPC）
2025全國碳納米材料制備與應用技術交流會
第四屆全國難熔金屬及硬質合金技術研討會
第二屆煤基固廢資源綜合利用技術交流會
2025中國（榆林）鈉/鋰電池材料產業科技大會

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環保行業
廢水處理       大氣治理       固/危廢處置       土壤修復
最新會議

2025全國煤化工科技創新與產業綠色發展論壇
第二屆有色金屬工業環境保護與減污降碳技術大會
2025工業廢水處理與資源化利用交流會
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物理檢測       化學分析       力學檢測       無損檢測       失效分析       環境檢測
最新會議

第七屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流會
2025材料電子顯微表征技術湘江研討會
2024有色金屬分析檢測技術交流會
第一屆礦產品采樣與制樣技術研討會
2023有色金屬分析檢測高質量發展論壇暨儀器儀表、實驗室設備展示會

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?蘇州英飛思科學儀器有限公司 | 邀您參加 “第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會”2023-06-30
?創想儀器 | 邀您參加 “第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會”2023-06-16
?南平建陽精控智能科技有限公司 | 邀您參加 “第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會”2023-06-16
?長沙微譜科技有限公司 | 受邀參加第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會2023-06-16

其他行業
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最新會議

2025鉛鋅產業市場研討會
2025綠色低碳鋼鐵行業關鍵技術交流會
2025第三屆全國金屬增材制造及注射成形技術與應用交流會
第十二屆中國鋁工業科學技術發展大會
2025有色金屬智能工廠大會

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?霧化法銅粉工藝及其性能研究下載：128
?二氧化碳捕集劑開發及應用研究下載：111
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?云南阿姆德YNAMDEL?— 源于實踐，鑄造“精”典2025-02-21
?重慶康普化學工業股份有限公司受邀參加“2024礦山化學品科技創新與應用交流會”！2023-12-28
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?廣域銘島數字科技有限公司邀您參加“中國鋁工業綠色低碳發展創新大會”~2023-04-14
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現場混裝炸藥在露天中小型礦山的研究與應用
吸附劑的結構設計與性能調控
有機助磨劑強化低品位菱鎂礦分選行為及機理研究
含鈣鎂脈石礦物的有色金屬礦選礦藥劑發展及應用
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最新報告

漿態床加氫設備外排油渣中鉬和釩的回收工藝研究
二次鋁灰機械活化堿浸除氮氟及制備冰晶石研究
濕法冶金和新能源行業氨氮廢水資源化技術及應用
推動行業革命的新型碳纖維復合材料泵
絡合-剪切誘導解絡-超濾分離稀土

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最新報告

堿金屬離子二次電池電極材料的結構設計及界面優化
鋁基復合材料晶內納米增強相的原位構筑及性能研究
仿向日葵多級微錐定向液滴調控及防冰應用
高熵能源材料
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熱分析和熱物性檢測技術在鋰電池行業的應用
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2025年電解鋁行業形勢分析
陰極糊和電解槽壽命的關系淺述，及綠色糊的展望
鋁酸鈉溶液多組分濃度變速滴定儀研制
鋁電解槽新型陽極鋁導桿材料的開發技術探討
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?二氧化碳捕集劑開發及應用研究下載：111

?化學吸收碳捕集和利用技術下載：108
?高熵合金在極端條件和環境下的應用開發下載：104
?廢動力電池安全帶電破碎關鍵技術及裝備下載：102
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離線監控介電層沉積工藝對銅電阻的影響的方法

869 編輯：管理員來源：中冶有色網

2023-03-19 08:28:34

本發明公開了一種離線監控介電層沉積工藝對銅電阻的影響的方法，包括：步驟S1，在裸硅片上沉積保護層；步驟S2，在所述保護層的表面生長一銅層；步驟S3，利用化學機械研磨工藝對銅層進行減??；步驟S4，測試研磨后的銅層電阻并作為前值電阻；步驟S5，將測試后的硅片進行待測試的介電層沉積工藝中的銅表面預處理步驟；步驟S6，測試預處理后硅片中的銅層電阻并作為后值電阻；步驟S7，后值電阻與前值電阻的差值即為介電層沉積工藝對銅電阻的影響量。本發明操作簡單，靈活性強，不但可以及時有效地進行晶圓的電性監控，還可以有效控制介電層沉積工藝的穩定性，而且最大化地避免介電層沉積工藝發生偏差時對產品的影響程度。

登錄解鎖全文

聲明：

“離線監控介電層沉積工藝對銅電阻的影響的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發明人(作者)

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報告下載

1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取

下載:139

2 取、制樣安全淺析

下載:131

3 取、制樣現狀及未來規劃/需求

下載:108

4 自動化樣品制備助力準確高效的礦

下載:99

5 樣品變質引起采制樣和結算問題

下載:96

6 淺談質量檢驗管理風險防控的重點

下載:95

7 礦產品人工取樣方案的制定及案例

下載:93

8 用于X熒光分析的樣品前處理及其

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10 非常規礦產品取制樣方法的探討

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