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基礎金屬	銅電解銅銅精礦銅管銅棒廢銅銅排銅合金精銅桿再生銅桿銅板帶鋁鋁土礦氧化鋁電解鋁鋁輔料鋁棒鋁合金錠廢鋁鋁桿鋁型材鋁板卷鉛鉛精礦鉛錠鉛蓄電池再生精鉛還原鉛廢鉛蓄電池鉛合金鋅鋅精礦電解鋅鋅合金氧化鋅鋅粉錫錫精礦錫錠錫材
稀貴金屬	稀土稀土礦稀土氧化物稀土金屬釹鐵硼小金屬銻鉍銦鍺鎵硒鉭鋯貴金屬白銀
新能源	鋰鋰礦鋰化合物金屬鋰鎳鎳礦鎳鐵精煉鎳鎳鹽高冰鎳 MHP 鈷電解鈷鈷粉氯化鈷四氧化三鈷硫酸鈷鈷中間品氧化鈷碳酸鈷鈷酸鋰錳錳礦電解錳電池級硫酸錳鋰電正負極三元前驅體磷酸鐵正極材料石油焦針狀焦包覆瀝青人造石墨硅碳負極硅氧負極電解液隔膜隔膜電解液電芯

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綜合

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2025中國礦物加工大會（CMPC）
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?江西銅業集團（貴溪）冶金化工工程有限公司誠邀共探冶金未來2025-05-20
?收官！“2025全國超硬材料制備與應用技術交流會”在昆明勝利召開2025-04-03
?促進企業交流·搭建協作平臺--“第二屆全國工業爐窯及耐火材料產學研合作高峰論壇”于衡陽閉幕2025-04-03

礦山行業
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2025中蒙“一帶一路”礦業領域國際合作論壇
2025全國稀有&貴金屬礦冶技術交流會
第二屆關鍵金屬選冶與高純制程技術交流會
第六屆中國浮選大會
第二屆全國礦山化學品科技創新與應用交流會

熱門報告
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?杭州微伽量子科技有限公司邀您參加“富礦精開科技創新研討會”！2024-08-05
?威海彤格科技有限公司邀您參加“第五屆中國浮選大會”~！2024-05-08
?內蒙古地礦集團技術需求、采購需求內容摘要，誠邀參加對接！2023-09-13
?福建中天交通工程技術服務有限公司受邀參加“2023綠色智能采礦技術與裝備產學研合作論壇”2023-08-02
?2023中國礦物加工大會（CMPC）在北京隆重召開！2023-04-27
?“第四屆浮選理論、工藝與裝備技術交流會”報到通知+報告匯總 | 3月24-26日在昆明不見不散~2023-03-14

冶金行業
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2025有色金屬綠色選冶雁棲論壇
第六屆全國火法冶金工藝技術與裝備交流會
第十三屆全國濕法冶金工程技術交流會
2025綠色低碳冶金技術創新大會
第七屆全國低品位礦產資源高效利用新技術交流會

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?我國主要有色金屬濕法冶金技術現狀與展望下載：155
?銅冶煉過程砷的控制和無害化處置下載：134
?銅冶金與鋼鐵基于雙碳的學科融合下載：116
?紅土鎳礦加壓浸出及精煉新工藝下載：113

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?湖南樂海環?？萍加邢薰?邀您參加“中國有色金屬冶金第八屆學術會議”！2024-06-25
?中集環?？萍迹◤V東）有限公司邀您參加 “2024先進鋼鐵釩鈦產業鏈融通與綠色低碳發展論壇”~！2024-06-14
?歡迎繼續申報“第二屆邱定蕃有色冶金青年科技獎”--6月28-30日“中國有色金屬冶金第八屆學術會議”將在長沙召開2024-05-27
?合肥通用環境控制技術有限責任公司邀您參加第十二屆全國濕法冶金工程技術交流會！2024-04-23
?順利閉幕--“全國有色金屬工業電化學第二屆學術會議”在桂林市成功召開2023-07-25
?陜西中迪能環科技有限公司受邀參加全國有色金屬工業電化學第二屆學術會議2023-07-21

材料行業
功能材料       復合材料       新能源材料       合金材料       材料加工
最新會議

2025中國礦物加工大會（CMPC）
第四屆全國難熔金屬及硬質合金技術研討會
2025中國（榆林）鈉/鋰電池材料產業科技大會
2025微納結構金屬間化合物與高熵合金技術交流會
第二屆退役新能源器件循環利用技術交流會

熱門報告
?鋰離子電池正極材料磷酸錳鐵鋰的研究進展及產業現狀下載：233
?磷酸(錳)鐵鋰材料的發展及動力電池的失效分析解析下載：129
?磷酸鐵鋰材料與電池體系的發展方向下載：125
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環保行業
廢水處理       大氣治理       固/危廢處置       土壤修復
最新會議

2025全國煤化工科技創新與產業綠色發展論壇
第二屆有色金屬工業環境保護與減污降碳技術大會
2025工業廢水處理與資源化利用交流會
全國冶金礦產固廢資源化第五屆學術會議
第十七屆東亞資源再生技術國際會議

熱門報告
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?復雜銅基多金屬固廢綠色協同冶煉技術下載：117
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檢測行業
物理檢測       化學分析       力學檢測       無損檢測       失效分析       環境檢測
最新會議

第七屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流會
2025材料電子顯微表征技術湘江研討會
2024有色金屬分析檢測技術交流會
第一屆礦產品采樣與制樣技術研討會
2023有色金屬分析檢測高質量發展論壇暨儀器儀表、實驗室設備展示會

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?礦產品能力驗證計劃中樣品的選取與制備研究下載：139
?取、制樣安全淺析下載：131
?取、制樣現狀及未來規劃/需求下載：108
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?樣品變質引起采制樣和結算問題下載：96
?淺談質量檢驗管理風險防控的重點與難點下載：95

最新報道
?青島金木石實驗室科技有限公司受邀參加“第一屆礦產品采樣與制樣技術研討會”~！2024-08-28
?“2023有色金屬分析檢測優秀儀器供應商”表彰活動2023-11-22
?蘇州英飛思科學儀器有限公司 | 邀您參加 “第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會”2023-06-30
?創想儀器 | 邀您參加 “第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會”2023-06-16
?南平建陽精控智能科技有限公司 | 邀您參加 “第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會”2023-06-16
?長沙微譜科技有限公司 | 受邀參加第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會2023-06-16

其他行業
綜合
最新會議

2025鉛鋅產業市場研討會
2025綠色低碳鋼鐵行業關鍵技術交流會
2025第三屆全國金屬增材制造及注射成形技術與應用交流會
第十二屆中國鋁工業科學技術發展大會
2025有色金屬智能工廠大會

熱門報告
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?霧化法銅粉工藝及其性能研究下載：128
?二氧化碳捕集劑開發及應用研究下載：111
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?高熵合金在極端條件和環境下的應用開發下載：104
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?云南阿姆德YNAMDEL?— 源于實踐，鑄造“精”典2025-02-21
?重慶康普化學工業股份有限公司受邀參加“2024礦山化學品科技創新與應用交流會”！2023-12-28
?“5G+BIM+智慧工廠+雙碳”賦能有色行業技術創新論壇將于10月19-21日在貴陽召開--最新報告匯總2023-09-20
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?廣域銘島數字科技有限公司邀您參加“中國鋁工業綠色低碳發展創新大會”~2023-04-14
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現場混裝炸藥在露天中小型礦山的研究與應用
吸附劑的結構設計與性能調控
有機助磨劑強化低品位菱鎂礦分選行為及機理研究
含鈣鎂脈石礦物的有色金屬礦選礦藥劑發展及應用
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最新報告

漿態床加氫設備外排油渣中鉬和釩的回收工藝研究
二次鋁灰機械活化堿浸除氮氟及制備冰晶石研究
濕法冶金和新能源行業氨氮廢水資源化技術及應用
推動行業革命的新型碳纖維復合材料泵
絡合-剪切誘導解絡-超濾分離稀土

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堿金屬離子二次電池電極材料的結構設計及界面優化
鋁基復合材料晶內納米增強相的原位構筑及性能研究
仿向日葵多級微錐定向液滴調控及防冰應用
高熵能源材料
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最新報告

微流控技術在工業廢水在線監測中的應用與創新
生物炭阻控稀土礦區重金屬污染效應及機制研究
基于催化界面工程的新污染物高效捕集與轉化技術
廢酸資源化處置利用概述
選擇性浸出—回收磷酸鐵鋰電池更有前景的方法

熱門報告

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選擇性溶解分離法在原子光譜分析中的應用
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鋰電材料金屬及磁性異物分析與過程控制
碳酸鋰質檢及倉單生成流程
譜育科技在有色行業元素分析檢測中的系列產品及應用

熱門報告

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?取、制樣安全淺析下載：131
?取、制樣現狀及未來規劃/需求下載：108

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?樣品變質引起采制樣和結算問題下載：96
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鋁酸鈉溶液多組分濃度變速滴定儀研制
鋁電解槽新型陽極鋁導桿材料的開發技術探討
氧化鋁綠色生產蒸發工段節能新技術實踐與探索

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?退役動力電池短流程資源化回收關鍵技術下載：152
?霧化法銅粉工藝及其性能研究下載：128
?二氧化碳捕集劑開發及應用研究下載：111

?化學吸收碳捕集和利用技術下載：108
?高熵合金在極端條件和環境下的應用開發下載：104
?廢動力電池安全帶電破碎關鍵技術及裝備下載：102
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> 真空隔熱的MEMS流量傳感器及其制作方法

真空隔熱的MEMS流量傳感器及其制作方法

1140 編輯：管理員來源：中冶有色網

2023-03-19 08:17:29

本發明公開了一種真空隔熱的MEMS流量傳感器及其制作方法，該流量傳感器包括：襯底，設有真空密閉隔熱腔體；第一介質層，形成于襯底的上表面；加熱元件、感溫元件及金屬電極，形成于第一介質層的上表面，其中感溫元件對稱分布在加熱元件的兩側，加熱元件及感溫元件局部位于隔熱腔體的上方；第二介質層，覆蓋加熱元件、感溫元件、金屬電極及通孔，且局部刻蝕出接觸孔。本發明的MEMS流量傳感器利用低壓力化學氣相沉積法的“保形效應”形成真空密閉隔熱腔體，一方面可提高隔熱腔體的隔熱性能，另一方面可減少被測流體與隔熱腔體之間的對流熱損失，從而有利于降低器件功耗，并增大上下游感溫元件之間的溫差，有效提高器件靈敏度。

登錄解鎖全文

聲明：

“真空隔熱的MEMS流量傳感器及其制作方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發明人(作者)

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報告下載

1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取

下載:139

2 取、制樣安全淺析

下載:131

3 取、制樣現狀及未來規劃/需求

下載:108

4 自動化樣品制備助力準確高效的礦

下載:99

5 樣品變質引起采制樣和結算問題

下載:96

6 淺談質量檢驗管理風險防控的重點

下載:95

7 礦產品人工取樣方案的制定及案例

下載:93

8 用于X熒光分析的樣品前處理及其

下載:91

9 不均勻樣品給第三方檢測機構和貿

下載:90

10 非常規礦產品取制樣方法的探討

下載:89

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