一種光波導雙通道干涉儀陣列,由平面玻璃基板上制作的一對或多對平行三維單模玻璃光波導及其上方的覆蓋層組成。為了使兩平行波導不對稱,覆蓋層可以覆蓋整個基板而使每對波導中的一條波導的局部區間暴露,也可以僅覆蓋每對波導中的一條波導的局部區間而使其余部分暴露。由光源發出的單色光經端面耦合或棱鏡耦合被同時輸入任一對平行波導中,在兩波導內激發橫電基?;驒M磁基模。從兩平行波導輸出的光因發散而疊加,導致明暗條紋相間的干涉圖形。通過光電探測器監測任一條紋的強度變化可以獲得在兩波導內傳播的導模之間的位相差隨時間的變化,從而可以獲得在兩波導上方發生的各種物理、化學變化,可廣泛用于氣體、化學和生物物質的實時探測。
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