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2025中國礦物加工大會（CMPC）
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2025全國煤化工科技創新與產業綠色發展論壇
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第七屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流會
2025材料電子顯微表征技術湘江研討會
2024有色金屬分析檢測技術交流會
第一屆礦產品采樣與制樣技術研討會
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2025鉛鋅產業市場研討會
2025綠色低碳鋼鐵行業關鍵技術交流會
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2025有色金屬智能工廠大會

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現場混裝炸藥在露天中小型礦山的研究與應用
吸附劑的結構設計與性能調控
有機助磨劑強化低品位菱鎂礦分選行為及機理研究
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漿態床加氫設備外排油渣中鉬和釩的回收工藝研究
二次鋁灰機械活化堿浸除氮氟及制備冰晶石研究
濕法冶金和新能源行業氨氮廢水資源化技術及應用
推動行業革命的新型碳纖維復合材料泵
絡合-剪切誘導解絡-超濾分離稀土

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堿金屬離子二次電池電極材料的結構設計及界面優化
鋁基復合材料晶內納米增強相的原位構筑及性能研究
仿向日葵多級微錐定向液滴調控及防冰應用
高熵能源材料
普魯士藍類似物光生電荷傳輸機制及光催化析氫性能研究

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微流控技術在工業廢水在線監測中的應用與創新
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基于催化界面工程的新污染物高效捕集與轉化技術
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陰極糊和電解槽壽命的關系淺述，及綠色糊的展望
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采用鈦鎳銅合金膜驅動的弦錐結構微驅動器及制備方法

987 編輯：管理員來源：中冶有色網

2023-03-19 07:33:30

采用三元鈦鎳銅形狀記憶合金膜驅動的弦錐結構微驅動器及其制備方法,形狀記憶合金驅動薄膜采用濺射方式沉積,并應用MEMS工藝完成條形化電阻設計。微驅動器的上、下體結構采用SI刻蝕工藝制備,并實現鍵合焊接,其組成包括:能起到壓力泵作用的上體(2)及閥體作用的下體(3),所述的上體(2)及下體(3)加工成具有壓力泵作用的驅動腔(4);所述的下體(3)在加工驅動腔(4)的同時,制成具有單流向閥的閥體擴張管(5)和收縮管(6);所述的閥體擴張管和收縮管分別與進水管道(7)和出水管道(8)相對準連接,所述的弦錐結構微驅動器上裝有三元TINICU/SI形狀記憶合金驅動薄膜(1)。本發明可廣泛應用于流體微量傳送、集成系統冷卻及微量化學分析等領域。

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“采用鈦鎳銅合金膜驅動的弦錐結構微驅動器及制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。

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化學分析

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1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取

下載:139

2 取、制樣安全淺析

下載:131

3 取、制樣現狀及未來規劃/需求

下載:108

4 自動化樣品制備助力準確高效的礦

下載:99

5 樣品變質引起采制樣和結算問題

下載:96

6 淺談質量檢驗管理風險防控的重點

下載:95

7 礦產品人工取樣方案的制定及案例

下載:93

8 用于X熒光分析的樣品前處理及其

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