本申請公開了一種稱重裝置,用于測定化學氣相沉積法作用對象的重量,包括重量檢測機構與設置在加熱爐內的用于放置化學氣相沉積法作用對象的料板,在所述料板的底部設置有支撐件,所述支撐件穿過所述加熱爐的底部并延伸至所述加熱爐外,所述支撐件能夠相對于所述加熱爐的豎直移動,所述支撐件置于所述重量檢測機構上。本申請提供的稱重裝置,能夠實時測定化學氣相沉積法作用對象的重量,直至作用對象上的重量達標,不僅節約能源,而且提高了生產效率。
聲明:
“稱重裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)