本發明公開了一種基于微機電干涉平臺的微型光譜儀,包括光路系統和電路系統;光路系統包括光源、兩個準直透鏡、樣品池、二向色鏡、分光鏡、全反射鏡、微機電干涉平臺、二向色鏡、濾光片及其兩個探測器;所述電路系統包括數據處理模塊,數據處理模塊包括光電檢測、核心算法及光譜數據的處理;光源發出的光使樣品池中的樣品受到激發后發出樣品光,透過樣品池的光源經過分光后一束作為參考光一束作為反饋光。三種光經過一系列的作用后被送入電路系統,電路系統將采集的樣品光的光譜信息發送到光譜數據庫系統中,與光譜數據庫中已知的數據進行對比,以此來判斷未知物質的化學組成。本發明可以方便的判斷出未知物質的化學組成,并且低成本,精度高。
聲明:
“基于微機電干涉平臺的微型光譜儀” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)