鈦及鈦合金表面涂覆TiAlN的制備方法,它涉及一種鈦及鈦合金表面涂覆TiAlN的制備工藝。本發明按照下述步驟進行:a.準備好鈦合金試樣材料,然后進行試樣鍍層制備前的檢查,經過在三氯乙烯中超聲波清洗、汽油清洗(兩次)、水洗、酸洗、乙醇清洗,最后烘干;b.采用8弧源多弧離子鍍膜機制備TiAlN鍍層,將烘干后的試樣裝爐,進行離子轟擊清洗,之后制備TiAlN鍍層,然后真空冷卻,出爐;c.TiAlN鍍層的制備工藝參數為:靶電流60-70A,基體負偏壓為-100~-400V,N2分壓0.32Pa,沉積溫度500℃和600℃,總沉積時間為120min,鍍層厚度約為3μm真空爐冷到80℃,試樣出爐;d.涂層表面EDS分析;e.鍍膜完成后,經水洗、擦拭烘干、組裝、包裝。本發明得到的TiAlN化學穩定性好、抗氧化磨損能力強、強度高、耐磨性好。
聲明:
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