本實用新型公開一種金屬有機物化學氣相沉積設備放空壓力控制裝置,該方法主要包括運行管線(1)、放空管線(2)、運行隔膜閥(3)、放空隔膜閥(4)、壓力計(5)、蝶閥(6)、氣體質量流量控制器(7)、金屬有機源(8)、反應室(9)、尾氣系統(10)。放空管線(2)上安裝有壓力計(5)和蝶閥(6),而且壓力計(5)在蝶閥(6)的上游,兩者形成負反饋回路,通過壓力計(5)實時測量放空管線(2)壓力,并由蝶閥(6)將設定壓力和實測壓力進行比較,蝶閥(6)通過調節開度完成放空管線(2)壓力的實時控制。
聲明:
“金屬有機物化學氣相沉積設備放空壓力控制裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)