一種化學機械拋光系統,其包括蒸汽產生器,該蒸汽產生器具有:加熱元件,其對容器施加熱量以產生蒸汽;開口,其將蒸汽輸送至拋光墊上;第一閥,其在開口與容器之間的流體管線中;傳感器,其監測蒸汽參數;及控制系統??刂葡到y經配置以:根據配方中的蒸汽輸送排程使閥打開及關閉;接收來自傳感器的蒸汽參數的測量值;接收蒸汽參數的目標值;用目標值及測量值作為輸入來執行比例積分微分控制算法,從而控制第一閥和/或第二釋壓閥和/或加熱元件,以使得在根據蒸汽輸送排程打開閥之前測量值基本上到達目標值。
聲明:
“控制化學機械拋光的蒸汽產生” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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