本發明屬于生物化學傳感技術領域,具體為一種基于二維材料的生物化學傳感模塊的制備方法。本發明方法包括:在硅/二氧化硅襯底上沉積二維材料;制備與二維材料連接或者不連接的金屬電極;二維材料和金屬電極周邊封裝樹脂材料;以及硅片下面附著印刷線路板。二維材料作為一種外界敏感材料,適用于多種傳感領域,特別是作為氣態或者液態的感應器或探測器。本發明解決了制造基于二維材料的生物化學傳感芯片模塊的問題,可以廣泛的應用于生物化學感應和測量應用中。
聲明:
“基于二維材料的生物化學傳感模塊的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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