本發明提供一種用于化學機械研磨機臺的制造程序控制方法及其控制系統,該方法包括:利用測量裝置獲取控片的邊緣研磨速率和中心研磨速率,并將所述控片的邊緣研磨速率和中心研磨速率傳輸至機臺自動化系統;機臺自動化系統計算所述控片的邊緣研磨速率與中心研磨速率的差值,并將所述差值傳輸至菜單查找系統;菜單查找系統根據差值查找出最佳制造程序,并將最佳制造程序傳輸至化學機械研磨機臺。本發明根據控片的邊緣研磨速率與中心研磨速率的差值選擇出最佳制造程序,化學機械研磨機臺可根據最佳制造程序進行產品片的化學機械研磨工藝,提高了工藝穩定性。
聲明:
“用于化學機械研磨機臺的制造程序控制方法及其控制系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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