本公開提供一種化學清洗液配置系統和方法?;瘜W清洗液配置系統設置在化學機械拋光設備內,包括:第一混合系統,被配置為將第一化學溶液和第一稀釋液混合,得到第一混合液;第二混合系統,被配置為第二化學溶液和第二稀釋液混合,得到第二混合液;第三混合系統,被配置為將所述第一混合液、所述第二混合液和第三稀釋液混合,得到第三混合液;輸出系統,被配置為輸出所述第三混合液至所述化學機械拋光設備的噴淋裝置;采樣系統,被配置為采樣所述輸出系統中輸出的所述第三混合液,其中所述采樣系統為與所述輸出系統相連通的支路系統;監測系統,被配置為監測所述第一混合液、所述第二混合液,以及所述第三混合液的狀態。
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