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稀貴金屬	稀土稀土礦稀土氧化物稀土金屬釹鐵硼小金屬銻鉍銦鍺鎵硒鉭鋯貴金屬白銀
新能源	鋰鋰礦鋰化合物金屬鋰鎳鎳礦鎳鐵精煉鎳鎳鹽高冰鎳 MHP 鈷電解鈷鈷粉氯化鈷四氧化三鈷硫酸鈷鈷中間品氧化鈷碳酸鈷鈷酸鋰錳錳礦電解錳電池級硫酸錳鋰電正負極三元前驅體磷酸鐵正極材料石油焦針狀焦包覆瀝青人造石墨硅碳負極硅氧負極電解液隔膜隔膜電解液電芯

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2025中國礦物加工大會（CMPC）
2025全國碳納米材料制備與應用技術交流會
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?促進企業交流·搭建協作平臺--“第二屆全國工業爐窯及耐火材料產學研合作高峰論壇”于衡陽閉幕2025-04-03

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2025中蒙“一帶一路”礦業領域國際合作論壇
第二屆關鍵金屬選冶與高純制程技術交流會
第六屆中國浮選大會
第二屆全國礦山化學品科技創新與應用交流會
第二屆中國微細粒礦物選礦技術大會

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?杭州微伽量子科技有限公司邀您參加“富礦精開科技創新研討會”！2024-08-05
?威海彤格科技有限公司邀您參加“第五屆中國浮選大會”~！2024-05-08
?內蒙古地礦集團技術需求、采購需求內容摘要，誠邀參加對接！2023-09-13
?福建中天交通工程技術服務有限公司受邀參加“2023綠色智能采礦技術與裝備產學研合作論壇”2023-08-02
?2023中國礦物加工大會（CMPC）在北京隆重召開！2023-04-27
?“第四屆浮選理論、工藝與裝備技術交流會”報到通知+報告匯總 | 3月24-26日在昆明不見不散~2023-03-14

冶金行業
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第二屆(2025)有色金屬綠色冶金雁棲論壇(EMYO)
第六屆全國火法冶金工藝技術與裝備交流會
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2025綠色低碳冶金技術創新大會
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?銅冶金與鋼鐵基于雙碳的學科融合下載：116
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?中集環?？萍迹◤V東）有限公司邀您參加 “2024先進鋼鐵釩鈦產業鏈融通與綠色低碳發展論壇”~！2024-06-14
?歡迎繼續申報“第二屆邱定蕃有色冶金青年科技獎”--6月28-30日“中國有色金屬冶金第八屆學術會議”將在長沙召開2024-05-27
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?陜西中迪能環科技有限公司受邀參加全國有色金屬工業電化學第二屆學術會議2023-07-21

材料行業
功能材料       復合材料       新能源材料       合金材料       材料加工
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2025中國礦物加工大會（CMPC）
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第四屆全國難熔金屬及硬質合金技術研討會
2025中國（榆林）鈉/鋰電池材料產業科技大會
2025微納結構金屬間化合物與高熵合金技術交流會

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環保行業
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2025全國煤化工科技創新與產業綠色發展論壇
第二屆有色金屬工業環境保護與減污降碳技術大會
2025工業廢水處理與資源化利用交流會
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物理檢測       化學分析       力學檢測       無損檢測       失效分析       環境檢測
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第七屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流會
2025材料電子顯微表征技術湘江研討會
2024有色金屬分析檢測技術交流會
第一屆礦產品采樣與制樣技術研討會
2023有色金屬分析檢測高質量發展論壇暨儀器儀表、實驗室設備展示會

熱門報告
?礦產品能力驗證計劃中樣品的選取與制備研究下載：139
?取、制樣安全淺析下載：131
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?青島金木石實驗室科技有限公司受邀參加“第一屆礦產品采樣與制樣技術研討會”~！2024-08-28
?“2023有色金屬分析檢測優秀儀器供應商”表彰活動2023-11-22
?蘇州英飛思科學儀器有限公司 | 邀您參加 “第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會”2023-06-30
?創想儀器 | 邀您參加 “第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會”2023-06-16
?南平建陽精控智能科技有限公司 | 邀您參加 “第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會”2023-06-16
?長沙微譜科技有限公司 | 受邀參加第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會2023-06-16

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最新會議

2025鉛鋅產業市場研討會
2025綠色低碳鋼鐵行業關鍵技術交流會
2025第三屆全國金屬增材制造及注射成形技術與應用交流會
第十二屆中國鋁工業科學技術發展大會
2025有色金屬智能工廠大會

熱門報告
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?霧化法銅粉工藝及其性能研究下載：128
?二氧化碳捕集劑開發及應用研究下載：111
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?成都長杰科技有限公司受邀參加“有色金屬固/危廢安全處置與資源化利用技術研討會”2023-07-24
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最新報告

現場混裝炸藥在露天中小型礦山的研究與應用
吸附劑的結構設計與性能調控
有機助磨劑強化低品位菱鎂礦分選行為及機理研究
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最新報告

漿態床加氫設備外排油渣中鉬和釩的回收工藝研究
二次鋁灰機械活化堿浸除氮氟及制備冰晶石研究
濕法冶金和新能源行業氨氮廢水資源化技術及應用
推動行業革命的新型碳纖維復合材料泵
絡合-剪切誘導解絡-超濾分離稀土

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最新報告

堿金屬離子二次電池電極材料的結構設計及界面優化
鋁基復合材料晶內納米增強相的原位構筑及性能研究
仿向日葵多級微錐定向液滴調控及防冰應用
高熵能源材料
普魯士藍類似物光生電荷傳輸機制及光催化析氫性能研究

熱門報告

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最新報告

微流控技術在工業廢水在線監測中的應用與創新
生物炭阻控稀土礦區重金屬污染效應及機制研究
基于催化界面工程的新污染物高效捕集與轉化技術
廢酸資源化處置利用概述
選擇性浸出—回收磷酸鐵鋰電池更有前景的方法

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最新報告

選擇性溶解分離法在原子光譜分析中的應用
熱分析和熱物性檢測技術在鋰電池行業的應用
鋰電材料金屬及磁性異物分析與過程控制
碳酸鋰質檢及倉單生成流程
譜育科技在有色行業元素分析檢測中的系列產品及應用

熱門報告

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最新報告

2025年電解鋁行業形勢分析
陰極糊和電解槽壽命的關系淺述，及綠色糊的展望
鋁酸鈉溶液多組分濃度變速滴定儀研制
鋁電解槽新型陽極鋁導桿材料的開發技術探討
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?二氧化碳捕集劑開發及應用研究下載：111

?化學吸收碳捕集和利用技術下載：108
?高熵合金在極端條件和環境下的應用開發下載：104
?廢動力電池安全帶電破碎關鍵技術及裝備下載：102
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> 多晶硅環的化學機械拋光方法

多晶硅環的化學機械拋光方法

1226 編輯：管理員來源：中冶有色網

2023-03-19 06:59:01

本發明涉及一種多晶硅環的化學機械拋光方法，依次包括將硅環和無紡布拋光墊安裝在拋光機上、粗拋、精拋步驟；粗拋中的粗拋液的成分為氧化鋁（0.23?0.26μm）10%?40%，金剛石（0.32?0.34μm）0.2%?5%，水60%?90%；精拋中的精拋液成分為膠體SiO2（90?120nm）0.8%?1%，SiO2（40?45nm）0.3%?0.5%，哌嗪0.08%?0.12%，氫氧化四甲基銨0.01%?0.05%,純水＞98%；在粗拋過程中將含有納米金剛石的拋拋液分散在無紡布拋光墊上，粗拋液中氧化鋁微粉能夠降低硅環表面粗糙度，減小亞表面損傷層深度，提高拋光效率，在精拋過程中，精拋液能夠實現化學作用與機械作用的良好匹配，保證拋光硅晶片高去除速率的同時，避免拋光霧等缺陷的形成，提高拋光后表面質量，拋光方法后硅環平面度＜20μm，破損層DOD=0um，經檢測拋光合格。

登錄解鎖全文

聲明：

“多晶硅環的化學機械拋光方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發明人(作者)

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1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取

下載:139

2 取、制樣安全淺析

下載:131

3 取、制樣現狀及未來規劃/需求

下載:108

4 自動化樣品制備助力準確高效的礦

下載:99

5 樣品變質引起采制樣和結算問題

下載:96

6 淺談質量檢驗管理風險防控的重點

下載:95

7 礦產品人工取樣方案的制定及案例

下載:93

8 用于X熒光分析的樣品前處理及其

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