用于微納尺度形貌及化學信息同時原位獲得的近場離子源,涉及近場離子源。設有光源、后電離源、光纖、Z軸光纖?樣品距離控制系統、樣品、質量分析器和XY二維移動平臺;控制系統對光纖末端與樣品之間的距離調控,當光纖趨近到樣品表面時通過反饋系統獲得Z軸高度信息;光源發出的光束經光纖進行傳輸,并照射在樣品表面;后電離源所產生的離子經傳輸進入質量分析器,通過質量分析器獲得質譜譜圖;通過逐點掃描的方式記錄樣品表面微納尺度的形貌信息,獲得其三維形貌輪廓的成像圖;原位記錄樣品表面微區的化學信息,獲得其表面化學信息的二維質譜成像圖,獲得空間分辨率可達微米甚至是納米尺度,可實現分子及元素薄層的深度分析。
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