本揭示提供化學氣相沉積裝置維護保養方法,其特征在于,包括步驟S10:通過氣體吹掃,篩選出符合測試要求的擴散器;步驟S20:設定檢測規格的預設值,通過微粒測量儀對所述擴散器進行微粒檢測;步驟S30:將所述擴散器裝配到化學氣相沉積裝置,進行試驗生產;以及步驟S40:所述化學氣相沉積裝置進行正式生產,并持續對所述化學氣相沉積裝置進行微粒檢測。通過檢測廠商維護保養后擴散器的維護保養品質,增加化學氣相沉積裝置維護保養的成功率。
聲明:
“化學氣相沉積裝置維護保養方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)