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基礎金屬	銅電解銅銅精礦銅管銅棒廢銅銅排銅合金精銅桿再生銅桿銅板帶鋁鋁土礦氧化鋁電解鋁鋁輔料鋁棒鋁合金錠廢鋁鋁桿鋁型材鋁板卷鉛鉛精礦鉛錠鉛蓄電池再生精鉛還原鉛廢鉛蓄電池鉛合金鋅鋅精礦電解鋅鋅合金氧化鋅鋅粉錫錫精礦錫錠錫材
稀貴金屬	稀土稀土礦稀土氧化物稀土金屬釹鐵硼小金屬銻鉍銦鍺鎵硒鉭鋯貴金屬白銀
新能源	鋰鋰礦鋰化合物金屬鋰鎳鎳礦鎳鐵精煉鎳鎳鹽高冰鎳 MHP 鈷電解鈷鈷粉氯化鈷四氧化三鈷硫酸鈷鈷中間品氧化鈷碳酸鈷鈷酸鋰錳錳礦電解錳電池級硫酸錳鋰電正負極三元前驅體磷酸鐵正極材料石油焦針狀焦包覆瀝青人造石墨硅碳負極硅氧負極電解液隔膜隔膜電解液電芯

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?促進企業交流·搭建協作平臺--“第二屆全國工業爐窯及耐火材料產學研合作高峰論壇”于衡陽閉幕2025-04-03

礦山行業
探礦       采礦       選礦       通用
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2025中蒙“一帶一路”礦業領域國際合作論壇
第二屆關鍵金屬選冶與高純制程技術交流會
第六屆中國浮選大會
第二屆全國礦山化學品科技創新與應用交流會
第二屆中國微細粒礦物選礦技術大會

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?2023中國礦物加工大會（CMPC）在北京隆重召開！2023-04-27
?“第四屆浮選理論、工藝與裝備技術交流會”報到通知+報告匯總 | 3月24-26日在昆明不見不散~2023-03-14

冶金行業
火法冶金       濕法冶金       電冶金       真空冶金
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第二屆(2025)有色金屬綠色冶金雁棲論壇(EMYO)
第六屆全國火法冶金工藝技術與裝備交流會
第十三屆全國濕法冶金工程技術交流會
2025綠色低碳冶金技術創新大會
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?陜西中迪能環科技有限公司受邀參加全國有色金屬工業電化學第二屆學術會議2023-07-21

材料行業
功能材料       復合材料       新能源材料       合金材料       材料加工
最新會議

2025中國礦物加工大會（CMPC）
2025全國碳納米材料制備與應用技術交流會
第四屆全國難熔金屬及硬質合金技術研討會
第二屆煤基固廢資源綜合利用技術交流會
2025中國（榆林）鈉/鋰電池材料產業科技大會

熱門報告
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最新會議

2025全國煤化工科技創新與產業綠色發展論壇
第二屆有色金屬工業環境保護與減污降碳技術大會
2025工業廢水處理與資源化利用交流會
全國冶金礦產固廢資源化第五屆學術會議
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檢測行業
物理檢測       化學分析       力學檢測       無損檢測       失效分析       環境檢測
最新會議

第七屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流會
2025材料電子顯微表征技術湘江研討會
2024有色金屬分析檢測技術交流會
第一屆礦產品采樣與制樣技術研討會
2023有色金屬分析檢測高質量發展論壇暨儀器儀表、實驗室設備展示會

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?取、制樣安全淺析下載：131
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?“2023有色金屬分析檢測優秀儀器供應商”表彰活動2023-11-22
?蘇州英飛思科學儀器有限公司 | 邀您參加 “第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會”2023-06-30
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?南平建陽精控智能科技有限公司 | 邀您參加 “第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會”2023-06-16
?長沙微譜科技有限公司 | 受邀參加第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會2023-06-16

其他行業
綜合
最新會議

2025鉛鋅產業市場研討會
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2025第三屆全國金屬增材制造及注射成形技術與應用交流會
第十二屆中國鋁工業科學技術發展大會
2025有色金屬智能工廠大會

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?二氧化碳捕集劑開發及應用研究下載：111
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?云南阿姆德YNAMDEL?— 源于實踐，鑄造“精”典2025-02-21
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礦山行業

冶金行業

材料行業

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最新報告

現場混裝炸藥在露天中小型礦山的研究與應用
吸附劑的結構設計與性能調控
有機助磨劑強化低品位菱鎂礦分選行為及機理研究
含鈣鎂脈石礦物的有色金屬礦選礦藥劑發展及應用
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最新報告

漿態床加氫設備外排油渣中鉬和釩的回收工藝研究
二次鋁灰機械活化堿浸除氮氟及制備冰晶石研究
濕法冶金和新能源行業氨氮廢水資源化技術及應用
推動行業革命的新型碳纖維復合材料泵
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最新報告

堿金屬離子二次電池電極材料的結構設計及界面優化
鋁基復合材料晶內納米增強相的原位構筑及性能研究
仿向日葵多級微錐定向液滴調控及防冰應用
高熵能源材料
普魯士藍類似物光生電荷傳輸機制及光催化析氫性能研究

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最新報告

微流控技術在工業廢水在線監測中的應用與創新
生物炭阻控稀土礦區重金屬污染效應及機制研究
基于催化界面工程的新污染物高效捕集與轉化技術
廢酸資源化處置利用概述
選擇性浸出—回收磷酸鐵鋰電池更有前景的方法

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選擇性溶解分離法在原子光譜分析中的應用
熱分析和熱物性檢測技術在鋰電池行業的應用
鋰電材料金屬及磁性異物分析與過程控制
碳酸鋰質檢及倉單生成流程
譜育科技在有色行業元素分析檢測中的系列產品及應用

熱門報告

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最新報告

2025年電解鋁行業形勢分析
陰極糊和電解槽壽命的關系淺述，及綠色糊的展望
鋁酸鈉溶液多組分濃度變速滴定儀研制
鋁電解槽新型陽極鋁導桿材料的開發技術探討
氧化鋁綠色生產蒸發工段節能新技術實踐與探索

熱門報告

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?二氧化碳捕集劑開發及應用研究下載：111

?化學吸收碳捕集和利用技術下載：108
?高熵合金在極端條件和環境下的應用開發下載：104
?廢動力電池安全帶電破碎關鍵技術及裝備下載：102
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低壓化學氣相沉積設備以及低壓化學氣相沉控制方法

1014 編輯：管理員來源：中冶有色網

2023-03-19 06:55:30

本發明提供了一種低壓化學氣相沉積設備以及低壓化學氣相沉控制方法。根據本發明的低壓化學氣相沉積設備包括:真空泵;采集器;布置在真空泵與收集器之間的主閥門;工藝導管;以及布置在工藝導管中的氣流方向檢測裝置。根據本發明的低壓化學氣相沉積設備能夠在真空泵突然出現故障時防止工藝副產品的出現、并防止加工中的晶片報廢,因此,所述低壓化學氣相沉積設備能夠提高成品率,由此降低工藝成本。

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聲明：

“低壓化學氣相沉積設備以及低壓化學氣相沉控制方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發明人(作者)

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化學分析

上一個：用于長時間穩壓化學灌漿的設備、方法及所用化學灌漿液

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報告下載

1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取

下載:139

2 取、制樣安全淺析

下載:131

3 取、制樣現狀及未來規劃/需求

下載:108

4 自動化樣品制備助力準確高效的礦

下載:99

5 樣品變質引起采制樣和結算問題

下載:96

6 淺談質量檢驗管理風險防控的重點

下載:95

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10 非常規礦產品取制樣方法的探討

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