本發明屬于化學機械研磨設備技術領域,具體的說是化學機械研磨設備防碰撞偵測系統,包括支撐單元和打磨單元;支撐單元包括轉軸、轉盤和研磨墊;支撐單元的一側打磨單元;打磨單元包括轉動桿、橫桿、電機和研磨頭;電機與研磨頭之間設有圓柱形狀的基板;基板的下端面與研磨頭的上端面之間留有間隙,基板的外圈上設有距離傳感器;在研磨頭一旁安置距離傳感器,實時檢測研磨墊用調節器與研磨頭之間的距離,一旦距離傳感器檢測距離小于用戶設置的安全距離時,危險距離信息傳到操控電腦上,操控電腦將信號反饋給研磨墊用調節器的驅動器,電機停止工作,報警并對檢修和清理研磨墊上的金屬碎屑。
聲明:
“化學機械研磨設備防碰撞偵測系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)