本實用新型涉及一種檢測裝置,尤其涉及一種化學機械研磨頭限位環的測量裝置。本實用新型公開了一種化學機械研磨頭限位環的使用壽命自動測量裝置,所述限位環上布設有若干溝槽,所述自動測量裝置包括控制裝置和用于檢測所述溝槽深度的檢測裝置,所述檢測裝置和所述控制裝置連接,所述控制裝置接收并分析來自所述檢測裝置的溝槽深度信息。本使用新型通過測得的溝槽深度并利用溝槽深度和限位環的使用壽命的正比例關系可以測算出限位環的剩余使用壽命,不但自動化程度高,避免了人為操作失誤,而且無需利用限位環的晶圓使用片數歷史記錄,就可以對所有的限位環的剩余使用壽命進行測算。
聲明:
“化學機械研磨頭限位環的使用壽命自動測量裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)