本實用新型涉及一種真空氣浮軸承及其性能檢測裝置,該氣浮軸承包括至少一級抽氣通道,采用本實用新型的多級抽氣結構的真空氣浮軸承,可以把提供給平面氣浮軸承的氣體抽排出真空腔體,將平面氣浮軸承對真空度的影響減小到可接受的范圍。該檢測裝置包括真空室;分別與真空室連接的多級抽氣管路、抽真空管路、進氣管路、氮氣管路,真空室還連接一真空室真空計,該性能檢測裝置能夠準確的評估該真空氣浮軸承是否符合實際真空環境的使用需求,還可判斷該真空氣浮軸承工作時對真空環境的影響。
聲明:
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我是此專利(論文)的發明人(作者)