<p id="xhh1v"><del id="xhh1v"></del></p><listing id="xhh1v"></listing>

<var id="xhh1v"></var>
<output id="xhh1v"></output>

        <ins id="xhh1v"><cite id="xhh1v"></cite></ins>
          <output id="xhh1v"><del id="xhh1v"><big id="xhh1v"></big></del></output>

          <dfn id="xhh1v"><form id="xhh1v"><output id="xhh1v"></output></form></dfn>

            合肥金星智控科技股份有限公司
            宣傳

            位置:中冶有色 >

            有色技術頻道 >

            > 固/危廢處置技術

            > 單晶硅外延片生產用廢氣處理系統

            單晶硅外延片生產用廢氣處理系統

            1165   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
            2023-03-19 05:36:45
            本發明公開了一種單晶硅外延片生產用廢氣處理系統,包括儲氣罐、吸附池、燃燒室、暫存罐和分離罐,儲氣罐的側壁上連接有排廢管和排氣管,排氣管上連接有曝氣管,且曝氣管置于吸附池內,吸附池內裝有用于吸附氨氣的溶液,吸附池連接有氨氣提純裝置,吸附池上設有燃燒室,儲氣罐安裝有與燃燒室連通的液體過濾裝置,吸附池內還設有伸入燃燒室的氫氣傳送管,燃燒室一側依次連接有暫存罐和分離罐,分離罐內設有過濾機構。本發明可提高氨氣回收的純度,通過燃燒室可燃燒多余的氫氣,利用氫氣提高燃燒室的溫度,同時利用高溫燃燒三甲基鎵,使三甲基鎵燃燒,然后對燃燒后的氣體進行處理,以防止三甲基鎵直接排放造成的危害。
            登錄解鎖全文
            聲明:
            “單晶硅外延片生產用廢氣處理系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
            我是此專利(論文)的發明人(作者)
            分享 0
                     
            舉報 0
            收藏 0
            反對 0
            點贊 0
            標簽:
            危廢
            全國熱門有色金屬技術推薦
            展開更多 +

             

            中冶有色技術平臺

            最新更新技術

            報名參會
            更多+

            報告下載

            赤泥綜合利用研究報告2025
            推廣

            熱門技術
            更多+

            衡水宏運壓濾機有限公司
            宣傳
            環磨科技控股(集團)有限公司
            宣傳

            發布

            在線客服

            公眾號

            電話

            頂部
            咨詢電話:
            010-88793500-807
            專利人/作者信息登記
            久爱国产精品一区免费视频_无码国模国产在线观看_久久久久精品国产亚洲A_国产综合精品无码

            <p id="xhh1v"><del id="xhh1v"></del></p><listing id="xhh1v"></listing>

            <var id="xhh1v"></var>
            <output id="xhh1v"></output>

                  <ins id="xhh1v"><cite id="xhh1v"></cite></ins>
                    <output id="xhh1v"><del id="xhh1v"><big id="xhh1v"></big></del></output>

                    <dfn id="xhh1v"><form id="xhh1v"><output id="xhh1v"></output></form></dfn>