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            氯硅烷尾氣處理方法與裝置

            1086   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
            2023-03-19 03:11:16
            本發明提供一種氯硅烷尾氣處理方法,包括以下步驟:1)廢氣冷凝預處理階段,所述氯硅烷淋洗階段中廢氣進入第一級淋洗塔,除去酸性氣體;將廢氣中所含的氯硅烷氣體溫度降低到沸點以下,使得尾氣中的大部分氯硅烷氣體由氣態轉變成液態;余下未被冷凝的尾氣等不凝性氣體進行下一階段處理;所述冷凝后的液態氯硅烷流到氯硅烷冷凝液儲罐中,經冷凝液輸送泵加壓后輸送到氫化儲罐存儲循環備用;2)氯硅烷淋洗階段,經過冷凝預處理后的尾氣進行二級淋洗除去大部分酸性氣體,剩余尾氣中主要成分為氫氣,氮氣等不凝性氣體收集備用;淋洗后的廢水進行下一段處理;3)廢水處理階段,淋洗后的廢水經中和反應沉降為固態污泥排出。
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            “氯硅烷尾氣處理方法與裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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