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2025中蒙“一帶一路”礦業領域國際合作論壇
第二屆關鍵金屬選冶與高純制程技術交流會
第六屆中國浮選大會
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第二屆中國微細粒礦物選礦技術大會

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材料行業
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2025中國礦物加工大會（CMPC）
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第七屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流會
2025材料電子顯微表征技術湘江研討會
2024有色金屬分析檢測技術交流會
第一屆礦產品采樣與制樣技術研討會
2023有色金屬分析檢測高質量發展論壇暨儀器儀表、實驗室設備展示會

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?南平建陽精控智能科技有限公司 | 邀您參加 “第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會”2023-06-16
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2025鉛鋅產業市場研討會
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2025有色金屬智能工廠大會

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> 濕電子化學的硅基材料蝕刻液及其制備方法

濕電子化學的硅基材料蝕刻液及其制備方法

758 編輯：管理員來源：中冶有色網

2023-03-19 02:42:14

本發明具體涉及一種濕電子化學的硅基材料蝕刻液，按重量份數計，包括以下組分：甲基磺酸25?45份；氟化物10?30份；水溶性酸30?60份；絡合劑05?9.5份；潤濕劑0.5?3.5份；水余量至總量100份；其中，所述水溶性酸包括硝酸、硫酸、磷酸、高氯酸、亞磺酸、甲酸、乙酸、檸檬酸、異檸檬酸、及乙醇酸中的至少一種；所述氟化物包括三氟甲磺酸、氟化鈉、氟化氫鈉、氟化銨、氟化氫銨、氟硼酸銨、氟化鉀、氟化氫鉀、氟化鋁、氟硼酸、氟化鋰、氟硼酸鉀及氟化鈣中的至少一種。所述濕電子化學的硅基材料蝕刻液能夠對硅基板進行安全、穩定、高效的蝕刻，并能夠很好的解決蝕刻過程中產生的難溶性副產物問題且生產過程工業安全的風險較低，廢水處理程序上所需的成本降低。

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“濕電子化學的硅基材料蝕刻液及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發明人(作者)

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