本發明提出一種采用超薄壓電單晶體制作的薄膜體聲波諧振器,包括具有地室的高阻襯底、由上金屬電極和下金屬電極夾持壓電體組成的三明治有源結構,三明治有源結構設置于高阻襯底上端;所述壓電體為超薄壓電單晶體,地室內設有若干根支柱。超薄壓電單晶體所用的壓電單晶體,為所有可實用化的壓電單晶體,如石英、鉭酸鋰、鈮酸鋰、四硼酸鋰、鍺酸鉍、硅酸鉍、硅酸鎵鑭系列、正磷酸鋁和鈮酸鉀。所用的高阻襯底,為硅、石英、碳化硅、三氧化二鋁、藍寶石、金剛石等微電子技術常用襯底材料。本發明的優點有:超薄壓電單晶體,晶體完整性未被破壞,為完美單晶;可以自由選擇晶體及其晶向,優化器件性能;超薄壓電單晶體生產技術前景明朗。
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