本實用新型公開了一種自排氣鉭酸鋰單晶棒晶托,它包括基體、一體設置于所述基體任一表面中部的承料體、一體設置于所述基體表面上且圍設于所述承料體四周的多個支撐體以及設置于所述承料體上表面邊緣的熱敏膠圈,每個所述支撐體和所述承料體之間形成溝槽,所述熱敏膠圈上開設有缺口,所述支撐體上表面為由內向外朝所述基體傾斜的斜面。這樣可以減小支撐體上表面高低不平帶來的影響,提高鉭酸鋰單晶棒的加工質量。
聲明:
“自排氣鉭酸鋰單晶棒晶托” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)