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2025中國礦物加工大會（CMPC）
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礦山行業
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2025中蒙“一帶一路”礦業領域國際合作論壇
第二屆關鍵金屬選冶與高純制程技術交流會
第六屆中國浮選大會
第二屆全國礦山化學品科技創新與應用交流會
第二屆中國微細粒礦物選礦技術大會

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?內蒙古地礦集團技術需求、采購需求內容摘要，誠邀參加對接！2023-09-13
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?2023中國礦物加工大會（CMPC）在北京隆重召開！2023-04-27
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冶金行業
火法冶金       濕法冶金       電冶金       真空冶金
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第二屆(2025)有色金屬綠色冶金雁棲論壇(EMYO)
第六屆全國火法冶金工藝技術與裝備交流會
第十三屆全國濕法冶金工程技術交流會
2025綠色低碳冶金技術創新大會
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材料行業
功能材料       復合材料       新能源材料       合金材料       材料加工
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2025中國礦物加工大會（CMPC）
2025全國碳納米材料制備與應用技術交流會
第四屆全國難熔金屬及硬質合金技術研討會
第二屆煤基固廢資源綜合利用技術交流會
2025中國（榆林）鈉/鋰電池材料產業科技大會

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2025全國煤化工科技創新與產業綠色發展論壇
第二屆有色金屬工業環境保護與減污降碳技術大會
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最新會議

第七屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流會
2025材料電子顯微表征技術湘江研討會
2024有色金屬分析檢測技術交流會
第一屆礦產品采樣與制樣技術研討會
2023有色金屬分析檢測高質量發展論壇暨儀器儀表、實驗室設備展示會

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?蘇州英飛思科學儀器有限公司 | 邀您參加 “第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會”2023-06-30
?創想儀器 | 邀您參加 “第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會”2023-06-16
?南平建陽精控智能科技有限公司 | 邀您參加 “第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會”2023-06-16
?長沙微譜科技有限公司 | 受邀參加第六屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流研討會2023-06-16

其他行業
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2025鉛鋅產業市場研討會
2025綠色低碳鋼鐵行業關鍵技術交流會
2025第三屆全國金屬增材制造及注射成形技術與應用交流會
第十二屆中國鋁工業科學技術發展大會
2025有色金屬智能工廠大會

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現場混裝炸藥在露天中小型礦山的研究與應用
吸附劑的結構設計與性能調控
有機助磨劑強化低品位菱鎂礦分選行為及機理研究
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最新報告

漿態床加氫設備外排油渣中鉬和釩的回收工藝研究
二次鋁灰機械活化堿浸除氮氟及制備冰晶石研究
濕法冶金和新能源行業氨氮廢水資源化技術及應用
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堿金屬離子二次電池電極材料的結構設計及界面優化
鋁基復合材料晶內納米增強相的原位構筑及性能研究
仿向日葵多級微錐定向液滴調控及防冰應用
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熱分析和熱物性檢測技術在鋰電池行業的應用
鋰電材料金屬及磁性異物分析與過程控制
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2025年電解鋁行業形勢分析
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鋁酸鈉溶液多組分濃度變速滴定儀研制
鋁電解槽新型陽極鋁導桿材料的開發技術探討
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> 鈮酸鋰薄膜波導的濕法刻蝕方法及鈮酸鋰薄膜波導

鈮酸鋰薄膜波導的濕法刻蝕方法及鈮酸鋰薄膜波導

1065 編輯：管理員來源：中冶有色網

2023-03-18 20:46:46

本申請提供一種鈮酸鋰薄膜波導的濕法刻蝕方法及鈮酸鋰薄膜波導。所述方法包括：在鈮酸鋰薄膜樣品中的鈮酸鋰層表面正疇區域上制備具有預設刻蝕形狀的金屬掩膜后，將具備金屬掩膜的待極化鈮酸鋰薄膜樣品接入極化電路，對金屬掩膜覆蓋區域的鈮酸鋰進行疇翻轉，使得金屬掩膜覆蓋區域由正疇翻轉為負疇，利用預設夾具固定住疇翻轉后的鈮酸鋰薄膜樣品，并去除表面的金屬掩膜后，利用刻蝕溶液對疇翻轉后樣品的表面區域進行預設時長的刻蝕，得到鈮酸鋰薄膜波導。整個過程利用正負疇的腐蝕速度差異制備鈮酸鋰薄膜波導，可以較好地控制刻蝕側壁的寬度和質量，制備的波導刻蝕側壁較為光滑，波導損耗較低。

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聲明：

“鈮酸鋰薄膜波導的濕法刻蝕方法及鈮酸鋰薄膜波導” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發明人(作者)

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下載:129

3 磷酸鐵鋰材料與電池體系的發展方

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