本發明涉及一種含鉿的碳化物涂層的制備方法,就是將四氯化鉿HfCl4蒸汽通入放置有已加熱至工藝溫度的待處理工件且置于通有保護氣氛的容器內,然后通入反應量的氫氣H2和甲烷CH4,使四氯化鉿HfCl4蒸汽與氫氣H2和甲烷CH4氣體反應并在該工件上沉積制成;制得的涂層為碳化鉿HfCx,X為0.9-1。本發明不僅獲得較高的涂層沉積速率,而且提高了原材料利用率,省去了復雜的真空系統,降低設備及工藝成本,對基材無損傷。同時C/C復合材料制得的涂層與基體結合力強,涂層均勻,涂層覆蓋全面,具備良好的長時抗高溫氧化浸蝕應用潛力。且涂層總厚度可在5μm~100μm之間任意調控。
聲明:
“含鉿的碳化物涂層及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)