本發明涉及一種多元復合碳化物涂層的制備方法。它依次包括:(1)將TaCl5、HfCl4和ZrCl4混合粉末,在惰性氣氛下盛裝入坩堝內;(2)將基體樣品放置在沉積爐支架上,并通入氬氣,加熱到沉積溫度;(3)將盛有混合粉末的坩堝放入雙溫區氣化爐中的低溫區的升降支架上,使坩堝口部與高溫區連通,設定低、高溫區的加熱溫度,加熱使混合粉末完全氣化;(4)向沉積爐內通入H2、CH4,并以運載氣體將完全氣化后的混合氣體通入沉積爐內,在常壓條件下進行沉積。該制備方法能獲得各組成化學計量比準確的多元復合涂層,且能保證涂層與基體材料結合緊密牢固、穩定性能優異。
聲明:
“多元復合碳化物涂層的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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