本發明提供一種適用于鈦合金表面的納米多層薄膜及其制備方法,該多層薄膜從鈦合金表面向外依次為氮化鈦薄膜層、碳化鈦薄膜層、氮化鈦薄膜層、碳化鈦薄膜層以及摻鋁的類金剛石薄膜層;該制備方法為先對鈦合金基體進行清洗以及抽真空,濺射沉積氮化鈦薄膜層,再濺射沉積碳化鈦薄膜層,然后分別重復沉積氮化鈦薄膜層與碳化鈦薄膜層一次,再制備一層摻鋁的類金剛石薄膜層,最后進行濺射后處理。與現有技術相比,本發明制備多層薄膜成品率高、方便、快捷、高效,其制備而成的薄膜與基體、薄膜與薄膜之間結合力大、內應力小,具有很好的耐摩擦磨損性能,可適用于航空航天、地質鉆探等高強度作業領域。
聲明:
“適用于鈦合金表面的納米多層薄膜及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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