本發明公開了一種制備紅外復合材料的方法和真空化學氣相沉積爐,其中,所述方法包括在同一真空化學氣相沉積爐內連續沉積ZnSe和ZnS,將裝有固體鋅料的坩堝加熱至500~750℃,使鋅升華產生鋅蒸汽,然后將沉積室加熱至650~800℃,通入硒化氫,開始沉積ZnSe,沉積完成后,停止通入硒化氫,沉積室降溫至600~750℃,通入硫化氫氣體,開始沉積ZnS,整個沉積過程載流氣體的流量保持不變,沉積完成后進行升溫退火處理,出爐即得ZnSe/ZnS紅外復合材料。本發明有效縮短了ZnSe/ZnS紅外復合材料的生產周期,簡化了生產工藝,降低了生產成本。
聲明:
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