本發明提供了一種微圖案化碳?碳納米管復合材料電極微加工工藝,包括以下步驟:(1)對碳納米管進行表面改性制得光刻膠?碳納米管復合材料;(2)對光刻膠?碳納米管復合材料進行紫外光刻等半導體微加工工藝,制得微圖案化光刻膠?碳納米管復合材料微結構;(3)最后將微圖案化光刻膠?碳納米管復合材料微結構經過熱解碳化過程制得微圖案化碳?碳納米管復合材料電極。該工藝簡單易操作,成本低,可應用于大規模生產,具有較好的機械性能、較高的化學穩定性、較優異的電導性和較好的電化學性能。本發明所制得的微圖案化碳?碳納米管復合材料電極可作為電極應用于微型超級電容器。
聲明:
“微圖案化碳-碳納米管復合材料電極微加工工藝及應用” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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