<p id="xhh1v"><del id="xhh1v"></del></p><listing id="xhh1v"></listing>

<var id="xhh1v"></var>
<output id="xhh1v"></output>

        <ins id="xhh1v"><cite id="xhh1v"></cite></ins>
          <output id="xhh1v"><del id="xhh1v"><big id="xhh1v"></big></del></output>

          <dfn id="xhh1v"><form id="xhh1v"><output id="xhh1v"></output></form></dfn>

            合肥金星智控科技股份有限公司
            宣傳

            位置:中冶有色 >

            有色技術頻道 >

            > 功能材料技術

            > 抗氣體干擾型MEMS氣體傳感器及制備方法

            抗氣體干擾型MEMS氣體傳感器及制備方法

            1435   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
            2023-03-18 15:11:01
            本申請揭示了一種抗氣體干擾型MEMS氣體傳感器及制備方法,該方法包括:在氧化層的表面沉積形成一層金屬電極層;利用化學氣相沉積法,在金屬電極層的表面沉積一層絕緣層;在絕緣層表面沉積一層氣敏材料層;利用涂布或印刷的方式,在氣敏材料層表面沉積一層分離膜,分離膜的納米通道的孔徑小于干擾氣體分子的運動直徑。本申請通過在制作MEMS氣體傳感器時,增加了分離膜,該分離膜的納米通道的孔徑小于干擾氣體分子的運動直徑,從而使得干擾氣體分子在分離膜的納米通道內發生大量碰撞,無法通過分離膜,從而實現對干擾氣體的阻隔,避免干擾氣體對傳感器內敏感材料的影響,提高了熱式傳感器的準確性,使熱式傳感器對目標氣體選擇性較好。
            登錄解鎖全文
            聲明:
            “抗氣體干擾型MEMS氣體傳感器及制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
            我是此專利(論文)的發明人(作者)
            分享 0
                     
            舉報 0
            收藏 0
            反對 0
            點贊 0
            標簽:
            功能材料
            全國熱門有色金屬技術推薦
            展開更多 +

             

            中冶有色技術平臺

            最新更新技術

            報名參會
            更多+

            報告下載

            赤泥綜合利用研究報告2025
            推廣

            熱門技術
            更多+

            衡水宏運壓濾機有限公司
            宣傳
            環磨科技控股(集團)有限公司
            宣傳

            發布

            在線客服

            公眾號

            電話

            頂部
            咨詢電話:
            010-88793500-807
            專利人/作者信息登記
            久爱国产精品一区免费视频_无码国模国产在线观看_久久久久精品国产亚洲A_国产综合精品无码

            <p id="xhh1v"><del id="xhh1v"></del></p><listing id="xhh1v"></listing>

            <var id="xhh1v"></var>
            <output id="xhh1v"></output>

                  <ins id="xhh1v"><cite id="xhh1v"></cite></ins>
                    <output id="xhh1v"><del id="xhh1v"><big id="xhh1v"></big></del></output>

                    <dfn id="xhh1v"><form id="xhh1v"><output id="xhh1v"></output></form></dfn>