本發明提出了一種稀土金屬旋轉靶材及其制備方法,該稀土金屬選擇靶材的制備包括:S1、制備平均粒徑D50為10?80μm的稀土金屬粉末;S2、將稀土金屬粉末裝入模具中;S3、將模具放入冷等靜壓機內壓制成型,得到素胚;S4、將素胚放入燒結爐中燒結,燒結溫度為800?1400℃,保溫時間10?80小時;S5、對燒結好的靶材毛坯進行機加工成所需要的尺寸和精度,加工后的靶材綁定在金屬圓管上得到稀土金屬旋轉靶材。本發明公開的稀土金屬旋轉靶材的制備方法工藝簡單、耗能少、易于規?;a,制備得到的稀土旋轉靶材質量好,具體體現在密度高、無裂紋孔隙、良品率高、成本低,提高釹鐵硼永磁材料的矯頑力。
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