本申請公開了一種碳化硅復合材料制備方法,包括:取碳納米管和碳化硅粉,二者固體成份比例范圍為2:98到5:95;將碳納米管配制成濃度3%?10%的碳納米管水溶液;將碳化硅粉投入所述碳納米管水溶液,球磨制成碳化硅混合漿料;將所述碳化硅混合漿料制成碳化硅復合坯體;將所述碳化硅復合坯體真空燒結,制成碳化硅復合材料。一種碳化硅復合材料,由碳納米管和碳化硅制成,其中碳納米管的固體含量為2%~5%(質量),其余為碳化硅。本發明解決了半導體用碳化硅陶瓷機械加工時崩瓷問題,進一步提高了產品合格率和碳化硅陶瓷韌性,增強了碳化硅材料抗彎強度。
聲明:
“碳化硅復合材料及制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)