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            用于半導體電子材料輻照效應研究的裝置

            934   編輯:中冶有色網   來源:邳州市安達電子有限公司  
            2022-08-10 16:46:58
            權利要求 1.用于半導體電子材料輻照效應研究的裝置,包括輻照箱(1),其特征在于:所述輻照箱(1)上端面鉸接有箱蓋(11),輻照箱(1)內表面側壁上固定連接有輻射源(12),且輻照箱(1)內固定安裝有均布機構(2),所述均布機構(2)上設置有防護組件(3);所述均布機構(2)包括電機(21)、底座(22)、伸縮桿(23)、收納臺(24)、C型半圓板(25),所述輻照箱(1)內表面底部中心處固定連接有電機(21),所述電機(21)的輸出軸上固定連接有底座(22),所述底座(22)上端面對稱固定連接有若干組伸縮桿(23),每組所述伸縮桿(23)上套設有支撐彈簧,若干組所述伸縮桿(23)上端固定連接有一組收納臺(24),所述收納臺(24)上卡接有C型半圓板(25)。 2.根據權利要求1所述的用于半導體電子材料輻照效應研究的裝置,其特征在于:所述收納臺(24)側壁上固定連接有一組限位塊(241),所述限位塊(241)遠離限位收納臺(24)的一側伸入平圓槽(242),所述平圓槽(242)開設在輻照箱(1)內表面側壁上。 3.根據權利要求1所述的用于半導體電子材料輻照效應研究的裝置,其特征在于:所述防護組件(3)包括弧槽(31)、C型弧板(32)、傳動彈簧(33),所述C型半圓板(25)兩端對稱開設有一組弧槽(31),每組所述弧槽(31)貫穿并滑動連接有一組C型弧板(32),每組所述C型弧板(32)貫穿伸入弧槽(31)的一側固定連接有傳動彈簧(33),每組所述傳動彈簧(33)遠離C型弧板(32)的一端固定連接在弧槽(31)內表面底部,每組所述C型弧板(32)上固定連接有一組壓板(7)。 4.根據權利要求3所述的用于半導體電子材料輻照效應研究的裝置,其特征在于:每組所述C型弧板(32)伸入弧槽(31)的一端固定連接有一組C型擋片,且每組所述C型擋片滑動連接在弧槽(31)內,每組所述C型擋片和弧槽(31)內表面底部固定連接有傳動彈簧(33),每組所述C型弧板(32)伸出弧槽(31)的一端固定連接有一組抵塊(321)。 5.根據權利要求3所述的用于半導體電子材料輻照效應研究的裝置,其特征在于:一組所述C型弧板(32)內表面側壁上開設有一組標記槽,所述標記槽上轉動連接有轉棍(4),所述轉棍(4)一端貫穿并固定連接有標記環(4
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